English   Hebrew  
автор лого - Климентий Левков Дом ученых и специалистов Реховота
(основан в июле 1991 года)
 
 
В Доме ученых и специалистов:
 

Программа
мероприятий
Культурного центра отдела абсорбции

 

Научно-
исследовательский центр «Русское еврейство в зарубежье»

 

Наши проекты:
Проект «Дело жизни»

Статьи:

Феликс-Азриэль Кочубиевский Государство Израиль и ООН «Каким образом ООН приняла решение о государстве Израиль. Да, действительно, 14-го мая 1948-го года ООН приняла решении о создании в бывшей подмандатной английской Палестине еврейского государства...»


Лора Дроми Я вернулся домой через бездну столетий" - творческий вечер, посвященный юбилею поэта, члена СПИ Ханана Токаревича


А. Казарновский Эварист Галуа, математик (Спектакль) «На этот спектакль стоило прийти, несмотря на бурю с проливным дождем: не так уж часто жизнь преподносит нам примеры стойкости, целеустремленности и других значимых для нас ценностей, которые мы увидели в образе героя спектакля...»


Феликс Сромин Добавим к "Железному куполу" "Купол информационный" «Окончились очередные парламентские выборы в нашей стране. Завершилась бескомпромиссная борьба за голоса. Одни партии получили их больше, другие меньше. Одни были рады, другие огорчены. Для счастливчиков, попавших в высший орган законодательной власти, наступил новый этап борьбы - борьбы за коалицию и оппозицию. Вчерашние "враги" стали союзниками, вчерашние "друзья" противниками. Но кто бы не пришёл к власти...»


Йоси Бирнбаум Хаим Вейцман и его архив «Гостивших у меня в Реховоте друзей из Америки, я приглашал посетить дом-музей Хаима Вейцмана. Завершая обход музея, я обычно говорил гостям, что Вейцман был одним из отцов-основателей Государства Израиль. Чтобы доходчивей объяснить сказанное, я добавлял, что у них в Америке были Вашингтон, Джефферсон, Мэдисон, а у нас Ротшильд, Герцль, Вейцман, Жаботинский, Бен-Гурион...»


Йоси Бирнбаум Заметки к 60-летию со дня смерти Хаима Вейцмана


Елькин Яков Евреи города Ромны в России и Израиле «Все мое детство я провел в маленьком украинском городе Ромны, который расположен на берегу тихой реки Сулы, впадающей в Днепр. Этот город с тысячелетней историей был в 19 веке крупным торговым центром восточной Украины. Здесь проводилась одна из самых крупных в России Ильинская ярмарка, на которую съезжалось до 250 тысяч людей. Поэтому в городе жило много еврейского торгового люда...»


Феликс Сромин Склероз Европы «Читаешь о росте антисемитизма в Европе и удивляешься тому, насколько коротка у европейцев историческая память. А неплохо бы вспомнить, что принесли Европе евреи и к чему приводило их отсутствие...»


----------------
 
 
 
Дом ученых и специалистов Реховота

 

апрель, 2014 г.


 

Agenda: Повестка дня

 

1. Наноразмерность. Кому это нужно?

 

2. Микросхемы

 

3. Вейфер

 

5. Методы контроля параметров микросхемы

 

6. Метод Nova

 

7. Моделирование и симуляции

 

8. Modern Technologies and Metrology challenges

 

 

Сфера Нанотехнологий

 

  • Существует беспрецедентная междисциплинарная группа учёных по всему миру, изучающая мир настолько маленький, что мы не можем его видеть даже под микроскопом. Это сфера нанотехнологий, области атомов и наноструктур.
  • Наука о нанотехнологиях настолько новая, что никто не знает, что от неё ожидать
  •  

    Что такое Нанометр?

     

  • Нанометр составляет всего одну миллиардную долю метра, то есть 109 метра

  • Нанометр меньше, чем длина волны видимого света

  • Одна стотысячная ширины человеческого волоса

  • Атом имеет диаметр примерно в 0,1 нм.

  • Ядра атомов - около 0,00001 нм
  •  

    Кому это нужно?

     

  • Призёр Нобелевской премии доктор Хорст Стомер сказал, что наноуровень представляет больший интерес, чем атомарный уровень, потому что наноразмерность – это первый уровень, где мы можем производить что-либо.


  •  

    Транзисторы

     

  • Транзѝстор, полупроводниковый триод — радиоэлектронный компонент из полупроводникового материала, обычно с тремя выводами, позволяющий входным сигналом управлять током в электрической цепи. Обычно используется для усиления, генерации и преобразования электрических сигналов. В общем случае транзистором называют любое устройство, которое имитирует главное свойство транзистора - изменения сигнала между двумя различными состояниями при изменении сигнала на управляющем электроде.



  • Биополярные транзисторы

     

  • В 1956 году за изобретение биполярного транзистора Уильям Шокли, Джон Бардин и Уолтер Браттейн получили Нобелевскую премию по физике.
  • В полевых и биполярных транзисторах управление током в выходной цепи осуществляется за счёт изменения входного напряжения или тока. Небольшое изменение входных величин может приводить к существенно большему изменению выходного напряжения и тока. Это усилительное свойство транзисторов используется в аналоговой технике (аналоговые ТВ, радио, связь и т. п.).
  • В настоящее время в аналоговой технике доминируют биполярные транзисторы (БТ) (международный термин — BJT, bipolar junction transistor).


  • Cхема биполярного транзистора

     

  • Упрощенная схема поперечного разреза биполярного NPN транзистора


  •  

    Полевые транзисторы: МОП-технология

     

  • Логика, память, процессоры, компьютеры, цифровая связь: биполярные транзисторы почти полностью вытеснены полевыми.
  • Полевые транзисторы (в частности, МОП-транзисторы) основаны на простом электростатическом эффекте поля, по физике они существенно проще биполярных транзисторов, и поэтому они придуманы и запатентованы задолго до биполярных транзисторов.
  • Тем не менее, первый МОП-транзистор, составляющий основу современной компьютерной индустрии, был изготовлен позже биполярного транзистора, в 1960 году.
  • Только в 90-х годах XX века МОП-технология стала доминировать над биполярной.


  • Mикросхема

     

  • Полупроводниковая микросхема — все элементы и межэлементные соединения выполнены на одном полупроводниковом кристалле (например, кремния, германия, арсенида галлия, оксид гафния).
  • Плёночная интегральная микросхема — все элементы и межэлементные соединения выполнены в виде плёнок
  • Современные передовые технологии производства микросхем оперируют с элементами размером 22—45 нм, переходят на элементы 14 нм и планируют уменьшить их в будущем до 5 нм.
  •  

     

    Что делается на п/п предприятии?

     





     

    Уменьшение Размера + Цена

     

     

     

    Закон Мура

     

  • Эмпирическое наблюдение, изначально сделанное Гордоном Муром, согласно которому количество транзисторов, размещаемых на кристалле интегральной схемы, удваивается каждые 24 месяца.
  •  

    Прогресс

     

  • «Если бы авиапромышленность в последние 25 лет развивалась столь же стремительно, как промышленность средств вычислительной техники, то сейчас самолёт Boeing 767 стоил бы 500 долл. и совершал облёт земного шара за 20 минут, затрачивая при этом пять галлонов (~18,9 л) топлива. Приведенные цифры весьма точно отражают снижение стоимости, рост быстродействия и повышение экономичности компьютеров».

    «Scientific American»
  •  

    Второй закон Мура

     

  • «Второй закон Мура», введённый в 1998 году Юджином Мейераном, гласит, что стоимость фабрик по производству микросхем экспоненциально возрастает с усложнением производимых микросхем.

    Стоимость фабрики, на которой корпорация Intel производила микросхемы динамической памяти ёмкостью 1 Кбит, составляла $4 млн..

    Стоимость же Fab32, завода по производству процессоров на базе 45-нм техпроцесса, составила $3 млрд.
  •  


     

    CD SEM

     

  • Применение высокоразрешающего электронного микроскопа позволяет характеризовать структурные дефекты, определять такие важные параметры систем, как размеры квантовых объектов и их пространственное расположение, степень упорядочения, резкость границ раздела, наличие структурных дефектов и их местонахождение относительно границ раздела.
  •  

    Известные методы

     

    × исследования методами просвечивающей и растровой электронной микроскопии атомной структуры, оперативный бесконтактный контроль атомарных поверхностей методами атомно-силовой микроскопии;

     

    × определение элементного и химического состава поверхности твердых тел методами Оже,

     

    × рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) и вторичной ионной масс-спектрометрия (ВИМС);

     

    ×Эллипсометрия - высокочувствительный и точный поляризационно-оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных сред, основанный на изучении изменения состояния поляризации света;

     

     

    Интерференция

     

  • Интерференция волн — взаимное увеличение или уменьшение результирующей амплитуды двух или нескольких когерентных волн при их наложении друг на друга. Сопровождается чередованием максимумов (пучностей) и минимумов (узлов) интенсивности в пространстве.

  •  

     

    Немного истории

     

  • Впервые явление интерференции было независимо обнаружено Робертом Бойлем (1627—1691 гг.) и Робертом Гуком (1635—1703 гг.). Они наблюдали возникновение разноцветной окраски тонких плёнок, подобных масляным или бензиновым пятнам на поверхности воды.
  • В 1801 году Томас Юнг (1773—1829 гг.), введя «Принцип суперпозиции», первым объяснил явление интерференции света, ввел термин «интерференция» (1803) и объяснил «цветастость» тонких пленок. Он также выполнил первый демонстрационный эксперимент по наблюдению интерференции света, получив интерференцию от двух щелевых источников света (1802); позднее этот опыт Юнга стал классическим.
  •  

    Scatterometry

     

  • Scatterometry - это оптическиe технологии измерения параметров микросхемы на основе анализа интерференции света, рассеянного на периодической наноструктуре


  •  

    Why scatterometry?

     

  • Быстрее чем CD-SEM


  • Более чуствительный к профилю


  • Может быть интегрирован в processing tools (CMP, Etch, Litho…)




  • Can measure undercuts

     

  • FinFET



  • Рефрактометр Nova

     


    Моделирование

     

  • Can measure heights, multiple layers / thicknesses / shapes

  •  

    Схема прибора

     


     

    Interpretation

     

    Interpretation is a fitting the measured spectrum by the theoretical one.

     


     

    Spectrum library interpretation – 3 param


     

    Spectrum library interpretation











    Ограничения закона Мура

     

  • В 2007 году Мур заявил, что закон, очевидно, скоро перестанет действовать из-за атомарной природы вещества и ограничения скорости света.


  • Compact Modeling




    Новое поколение ячеек памяти

     




    Чистая комната

     



     

    Compact library vs Standard library

     

  • Compact library (MARS 4.0 and up):
  •  

    Spec: up to 13 parameters, < 50MB, <10 hours
  • Standard library:
  •  

     <li> up to 8 parameters, < 500MB, 2 weeks or more
  • Improvement factor ~x1000
  •  

    Super recipe

     


     

    Wafers measurement

     

    A production wafer is divided into fields (a mask projection that is exposed at once on the wafer). Each field can be divided into dies (future chips).

     

    Scribe-line is a boundary between the dies (~ 100 micron width) that will be used for cutting the wafer into chips.

     

    In the majority of cases, NOVA measures test structures that are located in the scribe-line, and not inside the die.

     

    апрель, 2014 г.
    Copyright © Д-р Клара Винокур



    Обсудить на форуме

     

    Страница 1 из 1
    ГлавнаяДневник мероприятийПлан на текущий месяц
    copyright © rehes.org
    Перепечатка информации возможна только при наличии согласия администратора и активной ссылки на источник! Мнение редакции не всегда совпадает с мнением автора.